AI for semiconductor manufacturability

装置のモデルは装置の性能・精度を決める様々な要因を学習し、最適なプロセスレシピや装置パラメータをリアルタイムに決定する知的な機能を持ちます。センシングによって得た環境データやプロセスレシピ等の特徴を統合し、定常的にプロセスを最適化することで、半導体デバイスの微細化に対応できる、半導体製造装置の自律的で高精度なプロセス制御を実現します。